化学过滤器
针对不同使用环境的化学过滤器
在半导体生产过程中，不仅微小的颗粒甚至是极其微量的化学污染也会降低产品的合格率。
因此，半导企业通过安装高效率的化学过滤器，实现洁净的生产环境。
我司生产的化学过滤器，能够有效地去除半导体工厂中的AMCs物质。
AMCsAirbome molecular contamination ) 是半导体生产当中各种化学污染物质的统称（有机，碱性，酸性气体）。
特点：
1．去除效率高达90%以上
2．使用寿命长
3．精良的制造技术，安装方便
4．一条龙服务（从附着剂加添，产品组装到安装）
5．可以按照客户的要求设计过滤器
适用范围：
1．半导体，LCD等超精密制造工艺
2．恶臭以及有害气体容易产生的地方
3．医院，博物馆公共场所等对空气环境要求高的场所
主要产品：
1．● CAFILDEX® PL系列
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规格 |
CAFILDEX PL系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*150T (接受非标定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差压(mmAq) |
~ 15.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附剂 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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适用对象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目标气体 |
NH3, tAcid, VOCs |
2．● CAFILDEX® TY系列
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规格 |
CAFILDEX TY系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*450T (接受非标定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差压(mmAq) |
~ 15.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附剂 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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适用对象 |
MAU, RAU |
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目标气体 |
NH3, tAcid, VOCs |
3．● CAFILDEX® CE 系列
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规格 |
CAFILDEX® CE系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
572*1167*55T (接受非标定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 0.45 |
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差压(mmAq) |
~ 3.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA, 吸附剂 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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适用对象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目标气体 |
NH3, tAcid, VOCs |
4．● CAFILDEX® BT 系列
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规格 |
CAFILDEX BT系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
640*640*470 (接受非标定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 0.45 |
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差压(mmAq) |
~ 3.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附剂 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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适用对象 |
FFU |
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目标气体 |
NH3, tAcid, VOCs |
5
● CAFILDEX® SW系列
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规格 |
CAFILDEX SW系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*200T (接受非标定做) |
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效率 (%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差压(mmAq) |
~ 15 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附剂 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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适用对象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目标气体 |
NH3, tAcid, VOCs |
